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一种微电子机械系统MEMS加速度计.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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一种微电子机械系统MEMS加速度计.pdf

    本发明涉及电子机械测量技术领域，尤其涉及一种微电子机械系统MEMS加速度计，采用了低成本MEMS传感器作为惯性参数敏感元器件，能够实时采集传感器的工作环境温度，并实现陀螺仪惯性参数和温度信号的数字量输出，可降低温度对MEMS器件精度影响，避免了加速度计与陀螺仪数模转换的信号干扰，具有体积小、成本低、功耗小、输出参数全面的特点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112858719 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110035255.1 (22)申请日 2021.01.12 (71)申请人 东莞理工学院 地址

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