一种线型蒸发源.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种线型蒸发源.pdf

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本发明涉及显示技术领域，公开了一种线型蒸发源，该线型蒸发源包括：蒸镀坩埚，蒸镀坩埚包括呈线型的坩埚本体及位于坩埚本体上的多个喷嘴，坩埚本体包括中间区域及沿坩埚本体的延伸方向位于中间区域两侧的端部区域，多个喷嘴沿坩埚本体的延伸方向呈线型排列，多个喷嘴包括位于中间区域的中间喷嘴及位于端部区域的端部喷嘴；加热部，加热部包括第一加热器及第二加热器，第一加热器位于坩埚本体远离喷嘴一侧的周围，第二加热器包括加热器本体及放热板组件，加热器本体位于坩埚本体临近喷嘴一侧以及多个喷嘴周围，放热板组件设置于加热器本体

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112853271 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 20191