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本发明公开了一种气体冲击测试装置,用于测试分子泵冲击,其包括工装构件、开关件、导流通道、封堵件以及压力检测件,工装构件包括工装本体,工装本体上穿设成型有至少两个流通部,至少任意两个流通部具有不同的截面口径;封堵件与流通部相对应设置,封堵件与流通部配置为可拆卸连接。此结构的气体冲击测试装置,通过封堵件配合工装构件形成不同的流通路径,模拟分子泵处于不同压强工况的测试条件,其操作简单,可对分子泵抗外界气体冲击提供可靠参考。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116221159 A
(43)申请公布日 2023.06.06
(21)申请号 202211695045.6
(22)申请日 2022.12.28
(71)申请人 北京中科科仪股份有限公司
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