后段工艺集成金属-绝缘体-金属电容器.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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后段工艺集成金属-绝缘体-金属电容器.pdf

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一种低成本电容器(例如，金属‑绝缘体‑金属(MIM)电容器)被包括在后段工艺层中，以实现有效布线和面积节省。电容器具有第一电极(例如，电容器的第一端子)和第二电极(例如，电容器的第二端子)，第一电极包括导电后段工艺(BEOL)层，第二电极包括氮化物基金属。电容器还具有在第一电极与第二电极之间的蚀刻停止层(例如，电容器的电介质)。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112868097 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 201980066125.5 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所