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公开了用于基于衍射的叠加测量的设备和方法。实例设备包含第一层和第二层。所述第一层包含第一对准图案，所述第一对准图案包含在第一方向上延伸的第一线。所述第一线包含第一片段、第二片段和第三片段。所述第一层上方的所述第二层包含第二对准图案，所述第二对准图案包含：第二线，其在所述第一片段上方在所述第一方向上延伸且具有在垂直于所述第一方向的第二方向上从所述第一片段的第一偏移；第三线，其在所述第二片段上方在所述第一方向上延伸且具有在所述第二方向上从所述第二片段的第二偏移；以及第四线，其在所述第三片段上方在所述
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116230690 A
(43)申请公布日 2023.06.06
(21)申请号 202211474389.4
(22)申请日 2022.11.23
(30)优先权数据
17/541,079 2021
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