一种用于电镜观察的微米级球形颗粒截面的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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一种用于电镜观察的微米级球形颗粒截面的制备方法.pdf

本发明公开了一种用于电镜观察的微米级球形颗粒截面的制备方法,包括如下步骤:(1)将导电胶带粘贴于导电金属基体上;(2)取微米级球形颗粒粉末平铺粘在导电胶带上,并吹走多余粉末;(3)将粘有粉末的导电金属基体置于离子束抛光机内进行抛光,采用平面抛光模式,抛光角度为0~2°,抛光电压和时间为5~8kV5~40min+3~5kV5~20min+0.5~2kV5~20min,即可获得满足扫描电镜观察的颗粒截面。本发明不需要包埋处理,不用消耗额外的制样耗材;时间短,成本低,操作性强;耗时仅为截面抛光模

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112858362 B (45)授权公告日 2022.05.27 (21)申请号 202110023510.0 G01N 1/32 (2006.01) (22)申请日 2021.01.

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