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2023-06-08 发布于四川
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基板处理装置.pdf

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提供能够抑制液体流速的不匀的基板处理装置。本实施方式涉及的基板处理装置具备能够积存液体的处理槽。搬送部以多个半导体基板的表面朝向大致水平方向的方式排列该多个半导体基板，能够向处理槽内搬送多个半导体基板。多个液体供给部能够从处理槽的下方朝向处理槽的内侧方向供给液体。多个整流板配置在多个半导体基板的排列的一端侧和另一端侧中的至少一方。从多个半导体基板的排列方向观察时，多个整流板设置在搬送部的两侧的、搬送部与处理槽的侧壁之间的间隙中的位于半导体基板上方的第1间隙区域。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112868090 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 201980005515.1 (51)Int.Cl.