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一种超快激光多焦点大间距并行加工装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-06-08 发布于四川
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一种超快激光多焦点大间距并行加工装置及方法.pdf

    本发明公开了一种超快激光多焦点大间距并行加工装置及方法，装置包括超快激光发生器、扩束镜、分光棱镜、空间光调制器、反射镜、长距离分光传输阵列组、聚焦振镜组、工件；超快激光器产生超短脉冲激光束，经过空间光调制器和光学器件的调制，由长距离分光传输阵列组对激光束进行分光传输，入射至聚焦振镜组聚焦，对大幅面工件上的多个区域、多个工件，进行多焦点并行加工。本发明突破了空间光调制器和光学器件调制的微米级光束间距限制，将分光束距离从微米级提高至米级以上，解决了大幅面工件上的多个区域或多个工件的难加工问题，相对于

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112846487 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110028946.9 (22)申请日 2021.01.11 (71)申请人 浙江师范大学 地址

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