用于电子束投影光刻系统的图案化发射器及其制造方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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用于电子束投影光刻系统的图案化发射器及其制造方法.pdf

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本发明公开了一种用于电子束投影光刻系统的图案化发射器及其制造方法，其中，所述发射器包括发射电极层、图案电极层和基电极层。当基电极层接通电源时，图案电极层中的金属图案也会接通电源，发射电极层中的纳米电极便分为两部分：一部分与图案电极层中预设图案相接触，这些纳米电极也会接通电源；另一部分与预设图案不接触，由绝缘体隔开，这些纳米电极便不会接通电源；当电压达到开启电压时，接通电源的纳米电极便会发射电子，从而达到图案化电子光源的目的。本发明可以实现电子束无需掩模板，在经过加速、光阑、磁透镜等组件后，可形成

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112882351 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 202110077228.0 (22)申请日 2021.01.20 (71)申请人桂林理工大学地址