1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种微波等离子体化学气相沉积系统.pdfVIP

  • 6
  • 0
  • 约2.02万字
  • 约 21页
  • 2023-06-08 发布于四川
  • 举报

一种微波等离子体化学气相沉积系统.pdf

    本发明提供了一种等微波等离子体化学气相沉积系统，属于微波技术领域。上述等离子体设备主机包括机架、真空腔基座、腔盖及升降装置；真空腔基座与机架连接，真空腔基座的中部设置有样品基片台；腔盖能够与真空基座进行密封配合。升降装置的底部与机架连接，上部与腔盖连接，升降装置能够带动腔盖上下移动。使用时，通过操作升降装置起吊或下降，从而将腔盖打开或扣合在真空腔基座上。采用上述升降装置后，其不仅提高了工作效率，还降低了操作人员的劳动强度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112853327 B (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202011638435.0 C23C 16/54 (2006.01)

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >