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本发明提供一种基于超快激光脉冲序列的四光楔旋切钻孔方法及系统，其特点是利用类法布里珀罗干涉仪的脉冲序列产生装置，将超快激光脉冲整形为特定能量比、子脉冲间隔的脉冲序列，然后根据需要设定四光楔旋切头的角度偏转参数以及位移旋转参数，控制光束角度以及路径，将激光聚焦于待加工样品表面，加工出所需的微孔。本发明与现有技术相比具有结构简单，不需要复杂的光路对齐，可重复性高，配合多轴精密运动控制系统以及智能控制算法，可实现高深径比、多孔型的高精度超快激光加工。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112872629 B
(45)授权公告日 2022.07.01
(21)申请号 202110061801.9 (56)对比文件
(22)申请日 2021.01.18
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