铜铝膜蚀刻液.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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铜铝膜蚀刻液.pdf

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本申请实施例公开了一种铜铝膜蚀刻液，所述铜铝膜蚀刻液相对于所述蚀刻液的总重量，以重量计，包含：4％至10％的过氧化氢，0.1％至1％的过氧化氢稳定剂，0.05％至0.5％的蚀刻抑制剂，10％至30％的螯合剂，0.2％至2％的表面活性剂，0.2％至5％的无机磷酸盐或无机磷酸氢盐，0.1％至5％的无机酸，0至0.05％的氟化物以及余量的去离子水。本申请蚀刻液具有较长的使用寿命。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112877695 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202110029611.9 (56)对比文件 (22)申请日 2021.01.11