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- 2023-06-08 发布于四川
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本申请涉及一种载物台移动结构、载物台装置以及真空设备，载物台移动结构包括：置于真空腔室内部的机械臂结构，所述机械臂结构的一端安装在密封设计的安装座上；所述安装座设于所述真空腔室的一个面板上，所述安装座通过外置的驱动装置驱动所述机械臂结构转动；所述载物台设于所述机械臂结构的另外一端上，通过所述机械臂结构控制在水平面上移动。该技术方案，采用机械臂结构，降低了载物台移动结构标准件的要求，减少了丝杆和导轨等复杂配件的使用，而且机械臂结构通过外置的驱动装置驱动，减少了驱动装置的条件要求，节省了设备成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112863981 B
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202110041148.X (74)专利代理机构 广州市律帆知识产权代理事
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