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本发明属于微机械技术领域，具体是一种具有支撑柱的压电式微机械超声换能器。本发明的结构包括自上而下设置的：振动平板、支撑柱、上电极、压电材料层、下电极、结构层、空腔和衬底；振动平板的位移和压电振动膜的形变通过支撑柱相关联。支撑柱可以是线弹性或者刚性的材料。压电式微机械超声换能器的一种变化为支撑柱采用压电材料，其上方引入第三电极，用于激励压电支撑柱。本发明解决了现有技术中压电式微机械超声换能器弯曲模式振动导致的发射和接收灵敏度低，超声发射方向性差的技术问题，从而拓展其高灵敏度探测和高效超声发射的应用
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112871613 A
(43)申请公布日 2021.06.01
(21)申请号 202011512511.3
(22)申请日 2020.12.19
(71)申请人 复旦大学
地址 20
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