1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种低温漂薄膜体声波滤波器的膜层结构及制备方法.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约8.74千字
  • 约 7页
  • 2023-06-08 发布于四川
  • 举报

一种低温漂薄膜体声波滤波器的膜层结构及制备方法.pdf

    本发明涉及薄膜体声波滤波器工艺技术领域，具体涉及一种低温漂薄膜体声波滤波器的膜层结构及制备方法，包括硅晶圆衬底，所述硅晶圆衬底的中央开设有空腔，在所述硅晶圆衬底上依次制备下电极、压电层、上电极1、温补层、上电极和保护层，所述温补层设置于上电极1和上电极之间，且温补层包裹于上电极1。采用复合上电极的膜层结构，在常规上电极中插入温补层，进而影响压电材料的取向变差，使压电材料的有效机电耦合系数下降；复合上电极不影响压电层的取向和有效机电耦合系数，可降低对薄膜体声波滤波器性能的影响。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112865743 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110017097.7 (22)申请日 2021.01.07 (71)申请人 中国电子科技集团公司第二十六研

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >