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- 2023-06-08 发布于四川
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本发明属于激光标记技术领域,涉及一种夹具及激光标记系统,该夹具包括夹紧件、旋转装置、压紧件和第一升降组件;夹紧件上设置有打标部和支撑部,夹紧件用于放置待夹紧工件;旋转装置用于驱动夹紧件以夹紧件的中心轴为中心进行旋转;压紧件位于夹紧件的上方,且第一升降组件用于驱动压紧件靠近或者远离夹紧件,压紧件靠近夹紧件时能够与夹紧件配合共同夹紧待夹紧工件。该夹具及激光标记系统提供的技术方案能够对待夹紧工件如晶圆进行稳固夹紧,且能够有效避免待夹紧工件如晶圆变形导致定位不准、标记精度和质量均较差的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112846521 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202011621028.9 B23K 37/04 (2006.01)
(22)申请日 2
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