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本发明属于光伏、半导体技术领域，公开了一种直拉法单晶硅炉热场自动拆除设备。包括平行机械手、旋转机械手、机械手升降装置、水平伺服移动机械臂，所述水平伺服移动机械臂两侧分别设有机械手升降装置，其中一个机械手升降装置底部设置平行机械手，另一个机械手升降装置底部设置旋转机械手；所述水平伺服移动机械臂上设有升降装置，所述升降装置底部连接有伺服回转装置；所述设备整体设置在行走AGV车上，整个设备还外配有物料小车。本发明提供的单晶硅炉热场自动拆除设备运用工业自动化技术和耐高温材料，实现在高温条件下自动拆除单晶
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112853474 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110217149.5
(22)申请日 2021.02.26
(71)申请人 连智（大连）智能科技有限公司
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