薄膜体声波谐振器及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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薄膜体声波谐振器及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，是一种可以减小横向振动模式的薄膜体声波谐振器的新型结构。随着5G时代的到来，针对滤波器的性能要求越来越高，而声表面波(SAW)滤波器受其声波传播原理的限制，无法满足无线通信更高频段的应用。传统薄膜体声波谐振器(FBAR)，通常由上电极、压电材料、下电极三层结构所组成。但这一结构通常会伴随着横向振动模式，影响了谐振器的使用性能。本发明薄膜体声波谐振器的新型结构，包括上电极、压电层、下电极、第一反射层、第二反射层和第三反射层；本发明通过改善压电层以上的结

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112886935 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 202110041823.9 (22)申请日 2021.01.13 (71)申请人武汉大学地址 43