原创力文档- 1
- 0
- 约1.09万字
- 约 10页
- 2023-06-08 发布于四川
- 举报
本发明公开了属于靶材制造技术领域的一种厚壁大长径比高纯铜管靶的加工方法，包括以下步骤：1)高纯铜铸锭制备2)高纯铜管材制备3)高纯铜管坯制备4)高纯铜管靶的加工；并经过后续清洗烘干和包装过程得到成品高纯铜管靶；本发明从根本上解决了传统制备工艺生产的铜管靶纯度低、氧含量高、加工流程长、生产成本高、难以实现批量化生产的难题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112846660 B
(45)授权公告日 2022.05.27
(21)申请号 202011633795.1 C23C 14/34 (2006.01)
(22)申请日 2020.12
文档评论（0）