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- 2023-06-08 发布于四川
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一种半导体器件，包括：第一电极；第二电极；以及多层叠层，其包括位于第一电极和第二电极之间的四方晶体结构的氧化铪层，其中，该多层叠层包括：籽晶层，用于促进氧化铪层的四方结晶，并且具有四方晶体结构；增强层，用于增强氧化铪层的介电常数。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112864134 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202010452675.5
(22)申请日 2020.05.26
(30)优先权数据
10-2019-0
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