柔性音频传感器和柔性音频传感器的制作方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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柔性音频传感器和柔性音频传感器的制作方法.pdf

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本发明涉及一种柔性音频传感器和柔性音频传感器的制作方法。柔性音频传感器包括支架、第一组件和第二组件。支架具有开口，第一组件包括附接在所述支架上的有机薄膜和附接在所述有机薄膜的朝向所述支架的表面上的第一电极，所述第一组件至少在对应于所述开口的区域形成有镂空孔阵列，第二组件包括附接在所述有机薄膜的背向所述支架的表面上的超薄纸薄膜和附接在所述超薄纸薄膜的朝向所述有机薄膜的表面上的第二电极，所述第二组件至少在对应于所述开口的区域形成有微米孔阵列。本发明的技术方案，通过摩擦起电与静电感应的双重作用，无需外

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112887879 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 202110050004.0 (22)申请日 2021.01.14 (71)申请人浙江清华柔性电子技术研究院