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本发明提供了一种透明导电薄膜及其制备方法,其中,透明导电薄膜由下至上依次包括透明基材、第一导电层、第二导电层和第三导电层,第一导电层和第三导电层中各自独立地含有导电氧化物,第二导电层中含有金属或碳材料,第一导电层的厚度为25~100nm,第二导电层的厚度为50~150nm,第三导电层的厚度为5~50nm。通过本发明制备方法制得的透明导电薄膜具有低方阻和高透光率,并且更不易出现开裂或翘曲,具有更好的性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112908517 B
(45)授权公告日 2022.08.05
(21)申请号 202110068191.5 (56)对比文件
(22)申请日 2021.01.19
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