原创力文档- 12
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- 2023-06-09 发布于四川
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本申请公开了一种翘曲校正装置、翘曲校正设备、及翘曲校正方法。翘曲校正装置包括基板及多个按压组件。基板包括相背的第一面及第二面，基板还包括中心区域及环绕中心区域的边缘区域。中心区域及边缘区域均分布有按压组件，每个按压组件均设置于第一面并朝远离第二面的方向延伸，每个按压组件均能够相对独立地对工件提供压力，以对工件进行按压以校正工件的翘曲程度。本申请实施方式的翘曲校正装置、翘曲校正设备、及翘曲校正方法中，每个按压组件均能够相对独立地对工件提供压力，以对工件进行按压以校正工件的翘曲程度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112908907 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110322084.0
(22)申请日 2021.03.25
(71)申请人 深圳
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