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本发明涉及一种靶材组件的厚度评价方法，所述厚度评价方法包括：在靶材组件的溅射面选取17‑33个测试位点采用超声测厚仪进行厚度测量，各个测试位点的厚度值≥预设值，则所述靶材组件合格。本发明提供的方案，通过选择合适的位点个数，测定特定的测试点处靶材组件的厚度与预设值相对比，实现了靶材厚度的精准把控，可以保证靶材在溅射过程中不被击穿，显著地提高了溅射过程中的作业效率，可以有效地提高产品的良品率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112902888 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110070730.9
(22)申请日 2021.01.19
(71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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