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一种阻变存储器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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一种阻变存储器及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种阻变存储器及其制备方法，属于阻变存储器技术领域，解决了现有技术中器件高低阻态及多值存储的实际控制困难、工艺重复性差的问题。本发明阻变存储器包括依次设置的底电极、阻变层、插入层、Ti薄膜和顶电极；所述插入层形成一个阻变层氧空位向Ti薄膜扩散的势垒层。本发明可以实现可控的高低阻态和多值存储特性。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112909167 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202110266480.6 审查员 胡晓英 (22)申请日 2021.03.10

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