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一种应力调节微米LED芯片的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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一种应力调节微米LED芯片的制造方法.pdf

    本发明提供一种应力调节微米LED芯片的制造方法，属于微米LED技术领域，本方法包括：制作带有微纳米尺度应力调节部件的衬底，在带有应力部件的衬底生长微米LED晶圆，制作应力调节微米LED芯片，本发明的一种制造应力调节微米LED芯片的方法，使其通过应力调节部件对PN结区域产生应力，产生极化，产生电流的不均匀分布，提高微米LED的发光效率，同时通过增加绝缘应力调节部件刻蚀区代替微米LED芯片的半导体材料刻蚀区，避免了侧壁损伤带来的表面非辐射辐射效应，提高微米LED芯片的出光效率，同时通过紫外成像设备进

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112909135 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202110251012.1 (22)申请日 2021.03.08 (71)申请人 盐城师范学院 地址

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