一种离子束镀膜设备及其镀膜方法.pdfVIP

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2023-06-09 发布于四川
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一种离子束镀膜设备及其镀膜方法.pdf

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本发明公开了一种离子束镀膜设备及其镀膜方法，该设备包括传送腔室和连接在传送腔室上的装卸片腔室、镀膜腔室和清洗腔室，它们之间设有隔离阀，传送腔室内设有转运机构。镀膜方法采用的是上述设备进行镀膜处理。本发明中，装卸片腔室，用于存放不同类型的基片，传送腔室，实现基片在装卸片腔室、镀膜腔室和清洗腔室之间的转运，镀膜腔室，可实现对多个基片进行同时镀膜，也可实现多种类型膜层的制备，清洗腔室，可去除基片表面的脏污及氧化物，提高薄膜与基片之间的附着力。本发明离子束镀膜设备可实现基片的连续清洗和连续镀膜，可实现连

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112899633 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202110063794.6 (51)Int.Cl.