搬送装置、曝光装置以及物品的制造方法.pdfVIP

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2023-06-09 发布于四川
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搬送装置、曝光装置以及物品的制造方法.pdf

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本公开涉及搬送装置、曝光装置以及物品的制造方法。为了提供能够削减追踪处理来提高吞吐量的搬送装置，本发明的搬送装置具备：搬送部，将搬送物搬送至目标位置；测量部，测量搬送部的位置；存储部，存储将搬送物搬送至目标位置时的目标位置与搬送部的位置之间的位置偏移；以及控制部，根据存储于存储部的位置偏移的历史数据计算偏置驱动量，并将偏置驱动量与基准驱动量相加，从而设定搬送部的直至目标位置的驱动量，其特征在于，控制部根据搬送部的直至目标位置的移动距离、移动方向及移动速度、以及搬送装置内的温度、搬送装置内的振动的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112904677 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202011383185.0 (22)申请日 2020.12.01 (30)优先权数据 2019-2193