原创力文档- 4
- 0
- 约9.23千字
- 约 9页
- 2023-06-09 发布于四川
- 举报
本公开提供一种真空兼容的平面光学元件调整装置，包括：平面光学元件，包括相互垂直的光学面、侧面和底面；第一调节支架，与平面光学元件连接，能够在所述光学面所在平面内移动所述平面光学元件；第二调节支架，与所述第一调节支架连接，能够在所述侧面所在平面内移动所述平面光学元件。实现了光学元件空间直角坐标系的三个标准方向平移及绕标准方向旋转的调节；实现增加调节支架的数量，即可进一步增加光学元件的调节维度；结构通透，能够在真空环境下的使用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113359261 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110519753.3
(22)申请日 2021.05.12
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
文档评论（0）