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RFID零件认证及处理部件的追踪.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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RFID零件认证及处理部件的追踪.pdf

    本案提供的实施方式提供用于检测、认证、及追踪处理部件的方法及装置，处理部件包括用在电子器件制造(诸如半导体芯片制造)的基板处理系统上的可消耗部件或非可消耗部件。本案中的半导体处理系统及/或半导体处理系统的处理部件包括远程通信器件(诸如无线通信装置)，例如射频识别(RFID)器件或其他器件，嵌入一或多个处理部件或处理部件组件中、设置于一或多个处理部件或处理部件组件中、设置于上面、定位在一或多个处理部件或处理部件组件上、或耦合至一或多个处理部件或处理部件组件，及/或所述器件集成在所述半导体处理系统本

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112908842 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202110239607.5 (51)Int.Cl.

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