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一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺.pdf

    本发明公开了一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，属于ITO靶材加工技术领域，该离心喷雾造粒工艺包括以下步骤：S1、称取In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末，加入去离子水和分散剂，搅拌均匀，得到浆料；S2、将浆料通过砂磨机球磨，然后加入粘结剂和消泡剂，混合均匀后，得到待造粒浆液；S3、通过风机抽取外界空气，以使空气依次经过滤器、加热器和集气管后通过造粒用的罐体内的布气管排入罐体，直至罐体内布满温度为130‑240℃的热气；将待造粒浆液通过进料管输送，以使待造粒浆液通过雾化器雾化后喷入罐

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112897990 B (45)授权公告日 2022.05.10 (21)申请号 202110243038.1 C04B 35/626 (2006.01) (22)申请日 2021.0

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