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本发明公开了一种晶圆双面刷洗装置，包括容器框架，容器框架上设置有圆周旋转装置、吹气清洗装置和检测装置，所述容器框架的一侧设置有毛刷清洗装置，所述毛刷清洗装置包括固定设置于晶圆下方的下部清理毛刷和移动设置于晶圆上方的上部清理毛刷，所述下部清理毛刷和上部清理毛刷的固定端均在所述毛刷清洗装置上。本发明的有益效果是，双面刷洗装置可以实现对精圆片的双面刷洗，并配合晶圆片旋转驱动装置对晶圆片进行旋转，达到对晶圆片的全方位刷洗，刷洗效果好，而且工作效率高，且驱动旋转的机构采用圆周旋转装置，可以做到最小接触面积
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115714100 A
(43)申请公布日 2023.02.24
(21)申请号 202211541268.7
(22)申请日 2022.12.02
(71)申请人 拓思精工科技（苏州）有限公司
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