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基于双线阵相机的单光束三自由度激光干涉仪.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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基于双线阵相机的单光束三自由度激光干涉仪.pdf

    基于双线阵相机相机的单光束三自由度激光干涉仪属于激光应用技术领域；本发明将单一频率的激光光束输入至迈克尔逊干涉结构，通过设置参考平面反射镜的角度使得测量光束和参考光束非共轴干涉并形成单光束空间干涉条纹图像，选用双线阵相机有效接收单光束空间干涉条纹图像，最终通过三自由度解耦方法对每一帧单光束空间干涉条纹图像实现三自由度信号线性解耦。本发明所述的激光干涉仪不存在角度解耦非线性，显著降低了周期非线性误差，相比于其他现有三自由度激光干涉仪同时兼具结构简单、角度测量范围大和易于集成的优点，满足了三自由度激

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112857209 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110252667.0 (22)申请日 2021.03.09 (71)申请人 哈尔滨工业大学 地址

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