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本发明公开了一种MEMS应力隔离机构及其设计方法，属于MEMS机械设计领域，主要由环形或正多边形结构以及分布在波腹点和波节点的锚点构成。在MEMS器件加工或工作过程，由于多种材料膨胀系数失配和温度效应，MEMS器件会受到残余应力和热应力影响。基于环形或正多边形结构的驻波特性，将波腹点与基板锚点相连，将波节点与被保护MEMS器件的锚点相连，可以实现MEMS器件基板与内部被保护MEMS器件间的应力隔离。本发明结构简单，应力隔离效果好，可应用于各类MEMS器件的机械设计中。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112897453 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110097880.9
(22)申请日 2021.01.25
(71)申请人 浙江大学
地址 31
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