一种用于电子器件重离子辐照的空气高温试验箱.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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一种用于电子器件重离子辐照的空气高温试验箱.pdf

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本发明涉及一种用于电子器件重离子辐照的空气高温试验箱，包括：试验箱本体，所述试验箱本体包括前壁面，所述前壁面上设置有凹槽，所述凹槽内设置有入射孔以及覆盖在所述入射孔上的薄膜作为入射窗，所述薄膜的厚度范围为5‑100μm，所述前壁面的厚度小于2.5cm；所述试验箱本体上设置有进风口和出风口，所述进风口和出风口被配置为向所述试验箱本体内通入恒温空气，以使所述实验箱内的温度保持恒定。本发明通过将重离子束流照射的壁面改为耐高温且厚度小于2.5cm的壁面，而且在壁面上设置凹槽以及入射窗，大大减少了重离子束

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112946397 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 202110178174.7 (22)申请日 2021.02.09 (71)申请人中国科学院近代物理研究所