带载体的金属箔、以及使用其的毫米波天线基板的制造方法.pdfVIP

带载体的金属箔、以及使用其的毫米波天线基板的制造方法.pdf

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提供一种带载体的金属箔,其载体的剥离性及金属层的选择蚀刻性优异,使用其制造的半导体封装体(例如毫米波天线基板)能够实现传输损耗及电阻的降低。该带载体的金属箔具备:(a)载体;(b)剥离功能层,其设置在载体上;以及(c)复合金属层,其设置在剥离功能层上,所述(b)剥离功能层包含:(b1)密合层,其在靠近载体的一侧,厚度大于10nm且小于200nm;以及(b2)剥离辅助层,其在远离载体的一侧,厚度为50nm以上且500nm以下,所述(c)复合金属层包含:(c1)碳层,其在靠近剥离辅助层的一侧;以及(

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112969580 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 201980073906.7 石井林太郎 松浦宜范  (22)申请日 2019

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