原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种通过第一阶段和第二阶段处理基板的设备和方法。在第一阶段，在保持有基板的腔室中执行混合气体施用循环。引入第一气体持续第一时间段，以使第一气体的组分吸附到基板上。随后，引入第二气体持续第二时间段，以使第二气体与第一气体的组分反应以在基板的图案的侧壁上提供保护层，并且第二气体蚀刻图案的底部，第一时间段与第二时间段之比为使用比。然后，在第二阶段，以对应于图案的竖直尺寸的不同的使用比重复混合气体施用循环。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112951717 A
(43)申请公布日 2021.06.11
(21)申请号 202011388472.0
(22)申请日 2020.12.02
(30)优先权数据
16/709,43
文档评论（0）