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- 2023-06-10 发布于四川
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本发明公开了一种基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置及方法，基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置中，进气控制系统分别控制载气、冷却气、含氟气体与活性气体的流量；电感耦合等离子体反应器产生并约束热等离子体区域，并有腔体振动发生器固定在反应腔外壁以防止固体粉末附着；尾气处理系统由锥形粉末收集器处理固体产物，喷淋塔处理酸性气体产物，并在检测达标后排放，装置利用高频交流电源和感应线圈在反应腔内产生感应耦合热等离子体，在局部高温作用下使含氟气体彻底分解并与活性气体反应，从而抑制含氟气体的自恢复特性
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115708990 A
(43)申请公布日 2023.02.24
(21)申请号 202211290970.0
(22)申请日 2022.10.20
(71)申请人 西安交通大学
地址 710049
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