一种高灵敏度柔性压力传感器及制作方法.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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一种高灵敏度柔性压力传感器及制作方法.pdf

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一种高灵敏度柔性压力传感器及制作方法，该传感器包括依次层叠在一起的第一金属电极层、第一驻极体层、第二驻极体层以及第二金属电极层，第一驻极体层与第二驻极体层之间具有空气腔，空气腔内的空气经电晕极化电离出的正负电荷分别由第一驻极体层和第二驻极体层捕获而形成电荷偶极子，初始状态下电荷偶极子与第一、第二金属电极层上的感应电荷形成电场平衡，当传感器受压变形时，偶极矩改变，感应电荷转移而在外电路上形成电流，当释放压力时，传感器由于自身弹性恢复原状，在外电路上形成反向的电流并恢复电场平衡。该传感器使用寿命长，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112945429 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 202110129613.5 (22)申请日 2021.01.29 (71)申请人清华大学深圳国际研究生院