一种12英寸硅抛光片加工的工艺方法.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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一种12英寸硅抛光片加工的工艺方法.pdf

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本发明公开了一种12英寸硅抛光片加工的工艺方法。该工艺方法包括以下步骤：(1)将双面抛光好的12英寸硅片进行NOTCH抛光并进行边缘抛光，然后放入片盒里，片盒放入盛有纯水的常温水槽里；(2)将装有硅片的片盒放入1号液清洗，然后放入2号液清洗；1号液的成分组成为：氨水∶双氧水∶纯水＝1∶1∶5～1∶5∶10(体积比)，2号液的成分组成为：盐酸∶双氧水∶纯水＝1∶1∶5～1∶5∶10(体积比)；(3)将清洗完的装有硅片的片盒放入温水的水槽里，然后缓慢往上提拉达到干燥的目的。采用本发明的工艺方法可以制

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112967922 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 20191