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2023-06-10 发布于四川
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延长硫化镉靶材使用寿命的镀膜方法.pdf

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本发明公开了延长硫化镉靶材使用寿命的镀膜方法，采用四根硫化镉平面靶材进行直流溅射，假设四根硫化镉平面靶材的溅射总功率为p，第一根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/4‑1/2p，第二根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/4‑1/2p，第三根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/6‑1/4p，第四根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/6‑1/4p。本发明的镀膜方法没有对镀膜机软硬件进行升级，未改变硫化镉靶材的溅射总功率，也即缓冲层硫化镉膜层厚度未变化，仅仅只是对生产工艺参数比例的调整，即将关键靶材的消耗速率降低超过30％；

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112921282 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110081610.9 (22)申请日 2021.01.21 (71)申请人宣城开盛新能源科技有限公司

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