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本发明公开了一种斐索干涉仪球面和平面测量中回程误差的迭代修正方法，该方法为：首先根据被测件种类确定回程误差的阶数，判断敏感因子矩阵数q；改变q次被测件的姿态，并测量每次相位结果；然后根据测量相位结果计算结果中的倾斜量，代入方程组中计算各个敏感因子矩阵以及校正后相位；接着根据校正后的相位计算x、y方向上的面形导致局部倾斜量，并更新倾斜量，重新代入方程组计算各个敏感因子矩阵以及校正后相位；重复上述过程直至迭代收敛，得到敏感因子矩阵以及校正后相位结果。本发明可以校正斐索干涉仪在球面和平面测量中由于非零
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115711575 A
(43)申请公布日 2023.02.24
(21)申请号 202211380550.1
(22)申请日 2022.11.04
(71)申请人 南京理工大学
地址 210094
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