靶材溅射镀膜装置及其使用方法.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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靶材溅射镀膜装置及其使用方法.pdf

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本发明涉及靶材溅射镀膜技术领域，尤其涉及靶材溅射镀膜装置及其使用方法，其包括密封箱体，负压空间内设置有镀膜腔，镀膜腔内设置有靶材基座和沉积基底，所述密封箱体的内壁设置有承接清洁装置，承接清洁装置包括承接输送带、靶材刮除装置和两个滚轮，承接输送带用于承接飞向密封箱体内壁的粒子；靶材刮除装置包括负压吸拾嘴和刮刀，刮刀安装于吸拾嘴的内部且刀刃贴合于承接输送带，负压吸拾嘴用于吸拾刮刀从承接输送带刮除的物质；所述承接清洁装置设置有四个，四个承接清洁装置的承接输送带将镀膜腔合围，所述靶材基座和沉积基底的形状

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112962073 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110147298.9 (22)申请日 2021.02.03 (71)申请人东莞耀捷镀膜科技有限公司