一种纳米线多色近红外光电探测器及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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一种纳米线多色近红外光电探测器及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种纳米线多色近红外光电探测器及其制备方法，解决的是均匀性和稳定性差，成品率低，造价昂贵的技术问题，通过采用包括：上下依次设置的Si100基底和SiO2绝缘层，SiO2绝缘层设置多根不同组分的InAsP纳米线作为光吸收区，两端设有金属电极，金属电极覆盖在多根纳米线的两端，并形成欧姆接触；多根纳米线排列与金属电极垂直，纳米线之间相互平行的技术方案，较好的解决了该问题，可用于光电探测器中。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112951939 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 202110211875.6 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日 2