处理装置及处理方法.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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处理装置及处理方法.pdf

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根据实施方式，本申请提供一种处理装置，其对在包含硅及卤族元素的原料物质的反应或者包含硅的原料物质与包含卤族元素的原料物质的反应中产生的副产物进行处理。处理装置具备处理液罐、处理槽、供给机构和排气机构。在处理液罐中贮液包含碱性的水溶液处理液。向处理槽中投入包含副产物被处理构件。供给机构从处理液罐向处理槽供给处理液，通过所供给的处理液，在处理槽中对副产物进行处理。排气机构将通过处理液与副产物的反应而产生的气体从处理槽排气。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112970095 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202080005934.8 岩本武明　权垠相　 (22)申请日 2020.01