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双头喷嘴结构、清洗设备及清洗方法.pdfVIP

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  • 2023-06-10 发布于四川
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双头喷嘴结构、清洗设备及清洗方法.pdf

    本发明提供了一种双头喷嘴结构、清洗设备及清洗方法，所述双头喷嘴结构包括：用于喷布药液的第一喷嘴和第二喷嘴；固定模块，其连接并固定所述第一喷嘴和所述第二喷嘴，并使所述第一喷嘴与所述第二喷嘴的药液喷布方向具有夹角。本发明通过设置第一喷嘴、第二喷嘴和固定模块，使两个喷嘴的药液喷布方向具有设定的夹角。通过不同的药液喷布方向实现对晶圆缺口两侧区域的有效清洗，提升了晶圆缺口两侧区域的产品良率。此外，通过设置药液喷布方向与晶圆运动方向的夹角为锐角，还避免了对晶圆表面药液正常流动的干扰以及药液冲洗力度过大对元器

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112934493 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 20191

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