一种圆形靶材和背板的钎焊焊接方法.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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一种圆形靶材和背板的钎焊焊接方法.pdf

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本发明涉及一种圆形靶材和背板的钎焊焊接方法，所述方法包括如下步骤：先准备靶材和带有凹槽的背板，所述凹槽的底面为背板焊接面，分别在靶材焊接面和所述背板焊接面放置焊料并升温，利用熔化后的焊料进行浸润处理；然后在所述浸润处理后的背板的凹槽内放置焊料并等间距设置直径为0.5‑0.6mm的铜丝，得到处理背板；将处理得到的靶材和处理背板进行扣合组装，在靶材溅射面上放置压块并冷却，得到圆形靶材组件。本发明所述方法将作为支撑条的铜丝的直径限定为0.5‑0.6mm，相比于现有技术中的铜丝直径增大，可以将焊料层加厚

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112958864 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110190359.X (22)申请日 2021.02.18 (71)申请人宁波