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本发明提供了一种麦克风及其制造方法，由于先基于第一牺牲层的第一开口使得第二牺牲层随形形成凹槽，再在凹槽中形成第二开口，之后可以在第二开口中填充刻蚀停止层，以形成侧向停止结构，由此在通过释放孔对第一牺牲层和第二牺牲层进行各向同性刻蚀牺牲层以形成麦克风的振膜和背板之间的空腔时，刻蚀可以停止在侧向停止结构的表面，实现了第一牺牲层和第二牺牲层的侧掏距离可控的效果，降低了对各向同性刻蚀工艺的限制，且在形成空腔后能形成更加稳固的支撑柱，提高了麦克风的机械可靠性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112995885 B
(45)授权公告日 2021.08.13
(21)申请号 202110421622.1 H04R 19/00 (2006.01)
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