离子诱导材料表面二次电子发射产额的检测方法.pdfVIP

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2023-06-11 发布于四川
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离子诱导材料表面二次电子发射产额的检测方法.pdf

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本发明是关于一种离子诱导材料表面二次电子发射产额的检测方法，其包括：对样品施加负电压，使用脉冲阳离子轰击样品表面，产生二次电子；对微通道板施加正电压，检测二次电子，得到二次电子的飞行时间质谱；基于飞行时间质谱，通过累积积分计算，获得二次电子的产额。本发明方法通过先在样品表面施加负电压，以更有效地引出负离子，然后对微通道板施加正电压，以加速二次电子，得到二次电子的飞行时间质谱；进而得到二次电子的产额。本发明方法可使二次电子被准确检测到，提高其对电子的检测效率，获得更为理想的质谱图。本发明方法的普适

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112986303 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110174875.3 (22)申请日 2021.02.07 (71)申请人中国建筑材料科学研究总院有限公

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