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一种高定域性三维电沉积装置及方法.pdfVIP

一种高定域性三维电沉积装置及方法.pdf

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    本发明涉及三维电沉积技术领域，具体涉及一种高定域性三维电沉积装置，包括底座、三自由度运动机构、液池、夹具、喷嘴、供液管以及阳极材料；所述三自由度运动机构设置在所述底座上，所述喷嘴、供液管以及阳极材料通过三通转接头进行连接并相连通，所述三通转接头通过所述夹具与所述三自由度运动机构连接，所述液池设置在所述底座上且位于所述喷嘴的下方，所述液池内部装有高密度不溶性绝缘液体。本发明的三维电沉积装置，有效地避免了电镀液对阴极基底的杂散沉积，提高了三维电沉积的定域性。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112981471 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202110180155.8 B33Y 10/00 (2015.01)

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